RPS基本参数
  • 品牌
  • 晟鼎精密
  • 型号
  • SPR-08
  • 用途
  • 工业用
  • 清洗方式
  • 远程等离子
  • 外形尺寸
  • 467*241*270
  • 产地
  • 广东
  • 厂家
  • 晟鼎
  • 制程气体
  • NF3、O₂、CF4
  • 点火气体/流量/压力
  • 氩气(Ar)/1-6AR sIm/1-8 torr
  • 制程气体流量
  • 8NF3sLm
  • 工作气压
  • 1-10torr
  • 离化率
  • ≥95%
  • 进水温度
  • 30℃
RPS企业商机

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备,实现了模具制造中设计与检测的一体化流程,提升模具生产效率与精度。在模具设计阶段,RPS 可扫描现有模具或样品,生成三维数据用于模具设计参考,缩短设计周期;在模具加工过程中,RPS 可实时扫描加工中的模具,检测关键尺寸,及时调整加工参数,避免加工误差。在模具验收阶段,RPS 通过多面扫描模具型腔、型芯等关键部位,生成详细的检测报告,确保模具质量符合要求。该 RPS 设计与检测一体化方案可与模具 CAD/CAM 软件无缝对接,实现数据的快速传输与共享。目前,RPS 已应用于注塑模、冲压模等多种模具的制造,成为模具行业提升竞争力的中心 RPS 技术工具。在新能源电池制造中实现电极材料的表面改性。河南远程等离子源处理cvd腔室RPS石英舟腔体清洗

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术,在紧急救援场景中发挥着关键的生命保障作用,大幅提升救援效率。在地震、火灾等灾难现场,GNSS 信号可能受到破坏或干扰,RPS 定位技术可通过蜂窝小区 ID 定位、射频地图定位等方式,快速确定受困人员的大概位置。RPS 定位系统响应速度快,可在复杂环境中稳定工作,为救援人员提供实时的位置指引;定位精度高,能够缩小搜索范围,减少救援时间。晟鼎精密的 RPS 紧急救援定位方案可与救援设备联动,支持多救援团队协同作业,提升救援组织效率。该 RPS 定位技术已应用于多个应急救援场景,帮助救援人员成功营救多名受困人员,成为紧急救援领域的重要 RPS 技术装备。远程等离子电源RPS远程等离子体源(Remote Plasma Source,RPS)是一种用于产生等离子体的装置。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 检具采用轻量化设计,具备便携性强的明显优势,适用于多种工作场景。RPS 检具选用强度、轻量化的质量材料,在保证结构强度与检测精度的前提下,大幅降低设备重量,便于搬运与安装。对于需要现场检测的场景,如零部件安装现场、户外维修等,RPS 便携检具可快速部署,完成检测任务,无需依赖固定检测场地。该 RPS 便携检具的操作界面简洁直观,配备便携式电源,可在无外接电源的情况下长时间工作。轻量化与便携性设计让 RPS 检具的应用场景更加宽泛,成为现场检测、移动检测的推荐 RPS 设备,为客户提供了更大的使用灵活性。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的RPS远程等离子体源,在光伏电池钝化工艺中实现重大突破,助力光伏产业提升发电效率。钝化工艺是提升光伏电池开路电压与填充因子的关键环节,RPS通过精细控制等离子体参数,在电池表面形成高质量钝化层,有效减少载流子复合。与传统钝化技术相比,RPS处理后的钝化层均匀性更好,表面态密度降低30%以上,使电池转换效率提升0.5%-1%。RPS支持大尺寸硅片加工,可适配182mm、210mm等主流硅片规格,单台设备每小时可处理2000片以上硅片,满足光伏产业量产需求。在成本控制方面,RPS通过优化气体配比与能量利用,使单位硅片处理成本降低15%。目前,该RPS钝化方案已被多家光伏企业采用,成为提升光伏电池性能的中心RPS装备。为原子级制造提供精密表面处理基础。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备,在航空航天维修领域发挥着重要作用,成为故障检测的中心工具。航空航天设备维修中,需精细检测零部件的磨损、变形等故障情况,RPS 设备的高分辨率扫描能力可清晰捕捉零部件表面的细微损伤。RPS 采用非接触式扫描方式,不会对受损零部件造成二次伤害,适用于精密部件的故障检测。在维修过程中,RPS 可扫描受损零部件,生成三维数据与原始设计模型进行比对,精细分析故障原因与损伤程度,为维修方案制定提供依据。该 RPS 设备便携性强,可在维修现场灵活使用,无需将大型零部件搬运至检测中心,大幅缩短维修周期。目前,RPS 已应用于飞机发动机、机身结构等关键部件的维修检测,为航空航天设备的安全运行提供了可靠的 RPS 技术保障。在生物传感器制造中提升检测灵敏度。浙江远程等离子电源RPS石墨舟腔体清洗

在存储芯片制造中提升介质层可靠性。河南远程等离子源处理cvd腔室RPS石英舟腔体清洗

东莞市晟鼎精密仪器有限公司推出的 RPS 远程等离子源,是半导体先进制程中的关键中心设备。RPS 采用电感耦合等离子体技术,通过单独腔室生成高密度等离子体,经远程传输区筛选后,只让中性自由基进入主工艺腔,从根源避免离子轰击对晶圆的物理损伤。在 5nm 以下节点芯片制造中,RPS 展现出优越的工艺适配性,无论是 FinFET 还是 GAA 晶体管加工,都能精细控制侧壁粗糙度与晶格缺陷。RPS 支持 Ar、O₂、NF₃等多种工艺气体配比调节,可实现 SiO₂与 SiN 的刻蚀选择比超过 100:1,满足高深宽比通孔的均匀加工需求。晟鼎精密的 RPS 设备在 300mm 晶圆处理中,能将刻蚀均匀性控制在 ±2% 以内,长时间运行稳定性强,为半导体量产提供可靠保障,成为逻辑芯片、存储器件制造中的推荐 RPS 解决方案。河南远程等离子源处理cvd腔室RPS石英舟腔体清洗

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