东莞市晟鼎精密仪器有限公司的RPS远程等离子体源，针对柔性电子器件易受损伤的特性，打造了专属低损伤加工方案。柔性电子器件采用聚合物基底，传统加工方式易导致基底褶皱、破裂，而RPS通过远程传输设计，使高能离子在传输过程中被有效过滤，只让中性自由基作用于器件表面，从根本上避免物理损伤。在柔性OLED屏封装工艺中，RPS可精细活化基底表面，提升封装胶的附着强度，同时将基底温度控制在40℃以下，确保器件性能不受影响。RPS支持连续化生产模式，处理速度可达10米/分钟，且加工均匀性控制在±3%以内，完全适配柔性电子的量产需求。目前，该RPS方案已应用于柔性传感器、可穿戴设备等产品的制造，成为柔性电子行业高质量加工的中心RPS装备。为量子点显示提供精密图案化。上海国内RPS等离子体电源
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备，在航空航天维修领域发挥着重要作用，成为故障检测的中心工具。航空航天设备维修中，需精细检测零部件的磨损、变形等故障情况，RPS 设备的高分辨率扫描能力可清晰捕捉零部件表面的细微损伤。RPS 采用非接触式扫描方式，不会对受损零部件造成二次伤害，适用于精密部件的故障检测。在维修过程中，RPS 可扫描受损零部件，生成三维数据与原始设计模型进行比对，精细分析故障原因与损伤程度，为维修方案制定提供依据。该 RPS 设备便携性强，可在维修现场灵活使用，无需将大型零部件搬运至检测中心，大幅缩短维修周期。目前，RPS 已应用于飞机发动机、机身结构等关键部件的维修检测，为航空航天设备的安全运行提供了可靠的 RPS 技术保障。pecvd腔室远程等离子源RPS电源远程等离子体源RPS腔体结构，包括进气口，点火口。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 快速模具技术，依托全球化的生产与物流网络，为全球客户提供高效服务。RPS 在中国拥有 5 家自有工厂，并与 9 家质优合作伙伴建立合作关系，生产基地位于深圳、东莞等精密制造中心城市，可快速响应全球客户订单。在物流方面，RPS 与顺丰、DHL、Fedex 等前端物流企业合作，确保产品快速、安全地运往全球各地。针对国际客户，RPS 提供多语言技术支持与售后服务，帮助客户解决使用过程中的问题；通过 ERP 系统，全球客户可实时查询订单进度，掌握生产动态。该 RPS 全球化服务方案已服务于多个国家和地区的客户，成为国际市场上具有竞争力的快速模具 RPS 品牌。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司制定的 RPS 检具设计规范，成为汽车行业高精度检测的重要参考标准。RPS 检具设计严格遵循定位一致性原则，确保检具的 RPS 定位结构与零部件在车身上的装配定位完全一致，包括定位销孔位置、定位面形状等关键参数。在精度匹配上，RPS 检具定位元件的制造精度高于零部件公差要求，例如零部件孔位公差为 ±0.2mm 时，RPS 检具销钉公差控制在 ±0.05mm 以内。RPS 检具具备快速装夹、稳定支撑的特点，通过机械锁紧装置固定零部件，避免人为操作导致的检测误差。为保障检测可靠性，RPS 检具需定期通过三坐标测量机进行校准，销钉间距公差需维持在≤±0.03mm，定位面平面度≤0.02mm。该 RPS 检具设计方案已应用于多家主流车企，有效提升了零部件检测效率与准确性，成为汽车制造质量控制的中心 RPS 工具。RPS利用原子的高活性强氧化特性，达到清洗CVD或其他腔室后生产工艺的目的。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 检具具备强大的多场景适配能力，并提供专业的定制化服务，满足不同行业的检测需求。RPS 检具可根据零部件的结构特点、尺寸规格定制设计，适配汽车、智能装备、机器人等多个行业的检测场景。针对复杂曲面零部件，RPS 检具采用非接触式检测方案；针对高精度孔位检测，RPS 检具配备特用接触式探针；针对生产线在线检测，RPS 检具设计为快速装夹结构，满足高效检测需求。晟鼎精密的工程师团队可根据客户提供的零部件 CAD 模型，快速完成 RPS 检具的设计与制造，并提供安装调试、操作人员培训等一站式服务。该 RPS 检具定制化方案周期短、适配性强，已为多家企业解决了特殊检测需求，成为行业内定制化检测方案的质量 RPS 供应商。晟鼎RPS等离子浓度检测:通过检测解离腔体内电流判断等离子浓度，确保等离子体稳定。山东半导体RPS型号
适用于化合物半导体工艺的低温低损伤表面处理。上海国内RPS等离子体电源
东莞市晟鼎精密仪器有限公司推出的 RPS 远程等离子源，是半导体先进制程中的关键中心设备。RPS 采用电感耦合等离子体技术，通过单独腔室生成高密度等离子体，经远程传输区筛选后，只让中性自由基进入主工艺腔，从根源避免离子轰击对晶圆的物理损伤。在 5nm 以下节点芯片制造中，RPS 展现出优越的工艺适配性，无论是 FinFET 还是 GAA 晶体管加工，都能精细控制侧壁粗糙度与晶格缺陷。RPS 支持 Ar、O₂、NF₃等多种工艺气体配比调节，可实现 SiO₂与 SiN 的刻蚀选择比超过 100:1，满足高深宽比通孔的均匀加工需求。晟鼎精密的 RPS 设备在 300mm 晶圆处理中，能将刻蚀均匀性控制在 ±2% 以内，长时间运行稳定性强，为半导体量产提供可靠保障，成为逻辑芯片、存储器件制造中的推荐 RPS 解决方案。上海国内RPS等离子体电源
