联电隔振台技术服务

支撑面测试

在系统运行时，推动支撑表面。 灯不亮，除了可能会大力推动。 如果可以轻松使灯点亮，则支撑表面刚度不足以获得充分的性能。 确定支撑表面是否起反应对水平或垂直力施加更大的作用，并尝试适当地使结构变硬。请注意，该系统将在任何支撑表面上运行，但会产生共振的柔软结构放大某些建筑物的振动频率，因此这些振动频率会降低隔离的。

桌面选择

桌面必须足够坚硬，以防止两个隔离单元相对旋转他们的长横轴。 蜂窝面包板或30mm厚的铝板会产生比较好的结果，但是可以使用石板甚至是实心木板。 对于的位置固定孔，请参阅本文档末尾的钻孔计划。注意，也可以将隔离单元直接连接到支持的设备上。 在这坚固的安装是***必要的。 我们很乐意为您提供比较好安装建议方法。

HERZ在被动式隔振系统产品之外，补充了由瑞士Table Stable Ltd.开发的先进主动式隔振系统。联电隔振台技术服务

TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计

TS-140 +40的隔离始于0.7 Hz，超过10Hz后迅速增加至40db

缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性

TS 140 +40的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式

精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平

遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”

用户友好，实用的操作优势是创新建筑理念的结果

TS-140 +40的高度*84毫米

TS 140 +40的重量*为28.5千克 晶圆片隔振台实际价格TS-140的高度*为84毫米。

地板上没有AVI产品加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）

加上AVI产品开启隔振功能后，加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器

LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。

AVI-600系列（负载：1200kg）

型号：AVI-600SLP，AVI-600MLP，AVI-600XLP

形状：控制器与防振单元分离型

主动控制范围：被动隔振范围200Hz以上

确认防振状态：使用控制器背面的BNC连接器，外部连接，前面的8个LED指示防振状态

单位尺寸：288×396×288×720×318×856×

控制器尺寸；448x286x143毫米

承重：1200kg（相等）

单位重量：约20kg，约26kg，联络我们

电源电压：95-240VAC，50-60赫兹

耗电量：正常27W
工作温度范围：5℃〜40℃

工作湿度范围：10〜90％（5〜30℃）・10〜60％（30〜40℃）

可选零件（1）装载板，石板，铸铁板*另行咨询。

选装（2）高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询

将手轻轻放在桌面上。上方区块中的一个或多个LED可能会亮起，指示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果你现在在桌面上施加很大的力，所有过载灯都会亮起，并且隔离指示灯将闪烁几秒钟，表明系统暂时不再隔离，直到过载消除（待机模式）。

消除过载后，隔离灯应再次亮起，系统开始隔离。某些过载LED可能会亮起并持续几秒钟。即使在这个阶段系统正在隔离-但增益降低。严重过载后，系统可能需要半个小时分钟即可达到完全隔离，但通常只需要几秒钟。注意：在正常使用中，隔离开关可能会保持在ON位置（黑色旋钮在里面）。上接通电源后，黄色指示灯将首先闪烁，表明系统处于待机状态模式。大约30秒钟后，指示灯停止闪烁并保持点亮状态，表明系统处于隔离。

AVI 400-XL的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元，比较大负载为800公斤。联电隔振台技术服务

AVI 200-M的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制单元，比较大可以负载400公斤。联电隔振台技术服务

AVI 200-XL的隔离始于1,2 Hz，然后迅速增加至超过10Hz的35dB

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 200-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 200-XL隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单，友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程。

技术指标：

频率： 1,2-200 Hz

负载范围： 0-400公斤

AVI 200-M的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制单元，比较大可以负载400公斤。通过增加隔离模块的数量，可以轻松承受更高的负载。为了使AVI

200-M适应用户特定的应用，可以按特殊顺序提供不同长度的单个模块。 联电隔振台技术服务

岱美仪器技术服务（上海）有限公司拥有磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务 等多项业务，主营业务涵盖半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪。目前我公司在职员工以90后为主，是一个有活力有能力有创新精神的团队。公司业务范围主要包括：半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪等。公司奉行顾客至上、质量为本的经营宗旨，深受客户好评。公司凭着雄厚的技术力量、饱满的工作态度、扎实的工作作风、良好的职业道德，树立了良好的半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪形象，赢得了社会各界的信任和认可。