Yuen博士所领导的研究小组的研究领域包括MEMS微电动机械系统、光学和微流体学，目前致力于研发新药的非标定检测系统方面的研究。与芯片之间的比较美国CascadeMicrotech公司的CaliSartor认为，当今生命科学领域的微流体与20年前工业领域的半导体具有相似之处。计算机芯片的开发者解决了集成、设计和增加复杂性等问题，而微流体技术的开发者也正在从各方面克服微流控技术所遇到的此类问题。Cascade的市场在于开发半导体制造业的检验和分析系统，现在希望通过具微流控特征和建模平台的L-Series实现市场转型。深度解析微流控芯片技术。湖北微流控芯片系统
深硅刻蚀工艺在高深宽比结构中的技术突破：深硅刻蚀（DRIE）是制备高深宽比微流道的主要工艺，公司通过优化Bosch工艺参数，实现了深度100-500μm、宽深比1:10至1:20的微结构加工。刻蚀过程中采用电感耦合等离子体（ICP）源，结合氟基气体（如SF6）与碳基气体（如C4F8）的交替刻蚀与钝化，确保侧壁垂直度>89°，表面粗糙度<50nm。该技术应用于地质勘探模拟芯片时，可精确复制地下岩层的微孔结构，用于油气渗流特性研究；在生化试剂反应腔中，高深宽比流道增加了反应物接触面积，使酶促反应速率提升40%。公司还开发了双面刻蚀与通孔对齐技术，实现三维立体流道网络加工，为微反应器、微换热器等复杂器件提供了关键制造能力，推动MEMS技术在能源、环境等领域的跨学科应用。中国澳门微流控芯片参考价从设计到硬质塑料芯片成型的快速工艺，大幅缩短研发周期与试产成本。
肾脏组织微流控器官芯片（KoC）：传统方法或常规方法的局限性，例如细胞功能和生理学的变化或不适当，使得肾单位的病理生理学研究不准确且容易出错。相比之下，与微流控技术的集成已被证明可以产生更好和更精确的结果。KoC基本上是通过将肾小管细胞与微流控芯片技术相结合来制备的。它主要用于评估肾毒性。在临床前阶段能筛查出2%的失败药物，利用微流控技术能在临床阶段后检测出约20%的失败药物。这证明了使用KoC在单个微型芯片上研究人类肾单位的合理性。
ThinXXS公司ThomasStange博士认为，虽然原型设计价格高且有风险，微制造技术已不再是微流控产品商业化生产的主要障碍。对于他们公司所操纵的高价药品测试和诊断市场，校准和工艺惯性才是主要的障碍。ThinXXS于6月推出了一款新的微芯片产品QPlate，同时宣称该产品结合了MEMS硅微处理、微铸技术以及印制电路板技术。QPlate是与丹麦SophionBioscience公司合作开发的，是QPatch-16system的组成部分，QPatch-16system可平行的测量16个细胞离子通道。深硅刻蚀结合亲疏水涂层，制备高深宽比微井 / 流道用于生化反应与测序。
微流控芯片在技术优势上是一个交叉科学的高度集成芯片，可以实现自动完成分析全过程。由于它在生物、化学、医学等领域的巨大潜力，已经发展成为一个集生物、化学、医学、流体、电子、材料、机械等为一体的高科技生物传感芯片。目前针对加工技术的研究领域中，飞秒激光直写技术通常采用的是双光子聚合原理，该原理的基础来自于双光子吸收。简单地来讲，就是光聚合材料在光强足够大的条件下，同时吸收两个近红外光子，材料发生越来越多的光聚合反应。飞秒激光凭借着自己波长大的特性，可以很轻松地穿过材料抵达内部，使材料发生反应而聚合。科学家利用此原理，可以编制程序控制一束激光束逐点扫描建立起3D微纳结构，比如利用双光子吸收诱导光刻胶聚合。光刻胶是一种光敏材料，市面上以正胶和负胶较为常见，分别应用于激光非辐照区和辐照区的加工。除了可以用在聚合物上，双光子吸收还可以用于MEMS微机械制造，形成一些光化学或光物理机制。目前为止，光刻胶、微结构金属、碳材料等等都可以通过多光子的吸收过程进行加工，由此可以看出，双光子聚合具有比较多的可加工材料。微流控芯片在不同领域都有非常广阔的应用前景。采用MEMS加工的微流控芯片常见问题
微流控芯片的发展历史。湖北微流控芯片系统
MEMS多重转印工艺实现硬质塑料芯片快速成型：MEMS多重转印工艺是公司**技术之一，实现了从设计图纸到硬质塑料芯片的快速制造，**短周期*需10个工作日。该工艺流程包括掩膜设计、硅基模具制备、热压转印及后处理三大环节：首先通过光刻技术在硅片上制备高精度模具，然后利用热压成型将微结构转印至PMMA、COC等硬质塑料基板，**终通过切割、打孔完成芯片封装。相比传统注塑工艺，该技术***降低了小批量生产的模具成本（降幅达70%），尤其适合研发阶段的快速迭代。例如，某客户开发的便携式血糖检测芯片，通过该工艺在2周内完成3版样品测试，将研发周期缩短40%。公司可加工的塑料材质覆盖多种极性与非极性材料，兼容荧光检测、电化学传感等功能模块集成，为POCT设备厂商提供了低成本、高效率的原型开发与小批量生产解决方案。湖北微流控芯片系统
