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    本发明涉及半导体制造技术领域，更具体地说，涉及一种抛光减薄装置和抛光减薄方法。背景技术：采用iii-v族化合物制作的半导体器件和超高速数字/数模混合电路等凭借其优良的频率特性，已经成为通讯、雷达、制导、空间防御、高速智能化武器及电子对抗等现代化装备的部件之一。在众多的iii-v族化合物中，inp(磷化铟)化合物具有独特的优势，这主要得益于其优良的材料特性，例如，inp和ingaas(铟镓砷)之间的晶格失配很小，以及电子饱和速率很高等，所以不论是hemt(highelectronmobilitytransistor，高电子迁移率晶体管)结构还是hbt(heterojunctionbipolartransistor，异质结双极晶体管)结构，都具有非常优异的高频、大功率性能。但是，inp材料的物理性能却很差，非常易碎，很小的碰撞或振动都会导致晶圆碎裂而前功尽弃，因此，inp材料的制造加工面临着很多工艺上的难题。尤其是在超高频率、大功率的inp基rfic(射频集成电路)的制造工艺中，如何在对inp基晶圆进行减薄抛光时，减小或避免inp基晶圆的损伤是本领域技术人员亟待解决的问题之一。技术实现要素：有鉴于此，本发明提供了一种抛光减薄装置和抛光减薄方法，以减小或避免inp基晶圆的减薄抛光损伤。为实现上述目的。去除多余涂层，减薄用清洗剂是您不可或缺的好帮手。宁波清洗效果好的减薄用清洗剂销售公司

    所述主厚度测量仪32布置在所述腔室31的侧壁附近。所述主厚度测量仪32在所述玻璃加工治具4被加载到所述腔室31内之后用喷淋液将玻璃变薄或者减薄的同时实时测量玻璃的厚度，并且将关于测得厚度的信息发送到所述控制器。所述控制器实时确定从所述主厚度测量仪32接收的玻璃的厚度是否达到目标厚度。如果确定玻璃厚度达到目标厚度，则所述控制器停止对玻璃进行的减薄处理并且控制所述玻璃加工治具4重新移动至所述冲洗区2内。实施例三所述玻璃加工治具4经所述控制器的控制实现在所述腔室31内的往复运动，进而通过所述玻璃加工治具4的自身结构实现所述玻璃加工治具4上玻璃的摆动，从而实现玻璃与喷淋液的充分接触，提高玻璃在所述蚀刻区3内的减薄效果。图3为所述玻璃加工治具的种结构正视图；图4为所述玻璃加工治具的第二种结构正视图；图5为图3中的局部放大图；图6为所述玻璃加工治具的结构俯视图；具体的，所述玻璃加工治具4包括底座41、支撑架42，所述支撑架42固定设置在所述底座41上；所述底座41上设置有底支撑件43，所述底支撑件43用于与玻璃的底部接触，在玻璃底部提供支撑效果；所述支撑架42上设置有侧支撑件44，所述侧支撑件44限制玻璃侧部边缘位置。台州市面上哪家减薄用清洗剂推荐货源如何挑选一款适合自己的减薄用清洗剂？

    且所述限位块438和所述第二限位块439均可在所述限位孔437内移动，通过所述连接部433的限位效果，避免所述支撑条431和所述第二支撑条432在磁力作用下产生脱离，从而使所述支撑条431和所述第二支撑条432在磁力和所述连接部433的限位力作用下保持平衡。一般的，所述位块438和所述第二限位块439均设置为圆柱型，从而便于所述限位块438和所述第二限位块439在所述限位孔437内的移动。当放置于所述底支撑件43上的玻璃受到冲击或振动时，所述支撑条431可相对于所述第二支撑条432作水平方向的偏移移动，或所述限位块438和所述第二限位块439均在所述限位孔437内移动，使所述支撑条431可相对于所述第二支撑条432作竖直方向的移动，从而可实现对各个方向上冲击力或振动的吸收缓冲效果，提高玻璃的安全性。较佳的，所述限位块438和所述第二限位块439可设置为螺钉，所述限位孔437宽度配合所述螺钉的螺纹直径设置，在所述支撑条431和所述第二支撑条432上设置螺纹孔，通过将所述限位块438和所述第二限位块439与所述螺纹孔螺纹连接，从而实现所述限位块438和所述第二限位块439在所述支撑条431和所述第二支撑条432上的固定。通过将所述限位块438和所述第二限位块439设置为螺钉。

    通过旋紧螺钉使螺钉的端头部分与所述支撑条431或所述第二支撑条432接触，从而实现对所述连接部433的固定，避免所述连接部433在振动时发生脱离等情况。同时螺钉的设置，可实现所述底支撑件43结构的快速装卸，便于维修更换。值得指出的是，为达到防止所述连接部433脱离的效果，所述限位块438和所述第二限位块439并非于设置为螺钉，通过在所述限位块438和所述第二限位块439的端部设置横截面合适的部件，使所述限位块438、所述第二限位块439与所述连接部433卡接，即可实现螺钉的效果。所述接触部434设置有弧形槽，玻璃的下边缘设置于所述弧形槽内，从而实现所述底支撑件43对玻璃的位置固定。在进行减薄或其他加工过程中，玻璃通过所述玻璃加工治具4进行移动或放置时，均会产生振动；同时在进行蚀刻冲刷时，在酸液冲击的作用下由于玻璃底部固定，易使玻璃产生弯曲，通过所述底支撑件43的结构设置，可实现设置于所述接触部434上玻璃的悬浮柔性支撑，有效缓冲玻璃所受到的外界压力或冲击力，避免振动或冲击对玻璃带来的损伤；同时可有效降低所述玻璃加工治具4往复移动带来的振动，使玻璃底部在所述连接部433的限制下进行小幅度的移动，在保证玻璃在所述玻璃加工治具4上有效摆动。哪家减薄用清洗剂的质量比较高？

    本发明提供如下技术方案：一种抛光减薄装置，包括：托盘，用于固定待加工部件，所述待加工部件包括inp基晶圆；喷头，用于向所述待加工部件的待加工表面喷涂抛光液，以对所述待加工表面进行抛光；磁转子，放置在所述待加工部件的待加工表面上，用于通过旋转对所述待加工表面进行机械研磨，对所述待加工表面进行减薄。可选地，还包括控制部件；所述控制部件与所述磁转子和所述喷头相连，用于控制所述喷头和所述磁转子交替工作，以对所述待加工表面交替进行抛光和减薄。可选地，所述磁转子包括截面为半圆形的柱状磁性结构和位于所述磁性结构底部的研磨层，以通过所述研磨层对所述待加工表面进行机械研磨。可选地，所述研磨层为金属氧化物层，所述金属氧化物层包括三氧化二铝层。可选地，还包括：热板，设置于所述托盘底部，用于对所述托盘进行加热，以使所述待加工部件与所述托盘键合固定。可选地，所述待加工部件与所述托盘通过光刻胶键合固定。一种抛光减薄方法，包括：将待加工部件固定在托盘上，所述待加工部件包括inp基晶圆；通过喷头向所述待加工部件的待加工表面喷涂抛光液，来对所述待加工表面进行抛光；通过磁转子旋转对所述待加工表面进行机械研磨。口碑好的减薄用清洗剂的公司联系方式。广东国产减薄用清洗剂销售公司

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    本发明涉及玻璃减薄技术领域，具体涉及一种玻璃减薄设备。背景技术：随着便携式电子器件的发展，手机、平板等便携式电子器件越来越纤细化及薄型化，因此需要制造较薄的玻璃基板。为了制造较薄的玻璃基板，目前的采用的方法是浸泡式减薄法。用浸泡式减薄法减薄玻璃是将玻璃减薄液放入玻璃减薄设备的反应槽中，然后将玻璃放入玻璃减薄液中放置一定时间，使玻璃减薄液与玻璃反应，实现玻璃减薄。目前的浸泡式减薄法中，反应产物会悬浮于玻璃减薄液中，然后再粘附在玻璃上，造成不良品；并且，这种方法容易造成蚀刻不均，导致进行减薄后还需要进行抛光处理，提高了制备成本。鉴于上述缺陷，本发明创作者经过长时间的研究和实践终于获得了本发明。技术实现要素：为解决上述技术缺陷，本发明采用的技术方案在于，提供一种玻璃减薄设备，包括蚀刻区，用于对竖直容纳在玻璃加工治具中的多个玻璃进行减薄处理；冲洗区，用于所述玻璃加工治具上的玻璃进行减薄前清洁和减薄后清洁；转换区，用于待减薄处理的所述玻璃加工治具加载到所述冲洗区中，并将减薄处理后的所述玻璃加工治具从所述冲洗区卸载到外部；制动组件。宁波清洗效果好的减薄用清洗剂销售公司