上海六氟化硫超高纯气体半导体制造

上海弥正建立覆盖原料采购、生产加工、产品检测、仓储运输、终端使用的全链条质量追溯体系，确保每一瓶超高纯气体的品质可查、可控、可追溯。原料采购环节严格筛选质量供应商，所有原料均需提供完整的质量检测报告，经公司实验室复检合格后方可入库；生产过程采用自动化控制系统，实时记录提纯温度、压力、时间等关键参数，参数记录精度达 0.01 级，可保存 10 年以上；产品检测环节实行 “批次检测 + 抽样复检” 制度，每批次产品均生成的质量追溯码，包含原料信息、生产参数、检测数据、运输信息等内容。仓储运输环节采用恒温恒湿仓库，温度控制在 5-25℃，湿度≤60%，运输车辆配备 GPS 定位与温度监控装置，实时跟踪运输状态；终端交付时提供完整的质量追溯报告，客户可通过追溯码查询产品全生命周期信息。该体系完全满足 ISO 9001 质量管理体系与 SEMI 国际标准要求，某医疗客户应用后，顺利通过 GMP 认证，产品合规性得到认可，市场竞争力明显提升。超高纯氧气与氮气混合气（氧含量可调），满足医疗与发酵需求。上海六氟化硫超高纯气体半导体制造

上海弥正针对 Chiplet（芯粒）先进封装技术，推出全流程超高纯气体解决方案，以 “低颗粒 + 高稳定性” 支撑芯片异构集成的精密工艺需求。方案覆盖倒装焊、键合、再分布层（RDL）制备等重心环节，提供的超高纯氮气、氩气、氢气等气体，颗粒物（≥0.1μm）含量≤10 个 /m³，纯度达 6N 级以上，完全满足封装工艺对微污染控制的严苛要求。在倒装焊工艺中，超高纯氮气作为保护气，能有效防止焊料氧化，提升焊接良率；在 RDL 制备的电镀与蚀刻环节，高纯度气体确保金属布线的精细度与导电性，助力实现高密度互联。提供 “瓶装 + 管道” 结合的灵活供应模式，适配 Chiplet 封装多批次、高精度的生产特点，并配备在线颗粒计数器与纯度监测仪，实时监控气体品质。某的先进封装企业应用该方案后，Chiplet 产品的键合良率从 95% 提升至 99.2%，RDL 线宽精度控制在 ±0.1μm 以内，封装密度提升 30%，有力推动了国产 Chiplet 技术的商业化落地。浙江环丙烷超高纯气体检测分析超高纯氧气纯度≥99.999%，用于医疗供氧与电子行业氧化反应。

上海弥正凭借低温精馏、吸附分离、膜分离、催化脱氧等多工艺集成提纯技术，实现超高纯气体 5N-9N 级纯度的稳定量产，技术水平对标国际先进标准。针对不同气体特性定制专属提纯方案：惰性气体采用 “低温精馏 + 吸附” 组合工艺，有效去除微量杂质；活性气体通过 “催化净化 + 膜分离” 技术，精细控制有害杂质含量；特种气体则采用 “低温吸附 + 精馏” 工艺，确保纯度与稳定性双达标。配备国际先进的痕量杂质检测设备，包括 GC-MS 气相色谱 - 质谱联用仪、ICP-MS 电感耦合等离子体质谱仪等，可检测出 ppb-ppt 级别的微量杂质，每批次产品均经过至少 3 次全项检测，确保纯度达标。建立 1000㎡超洁净生产车间，车间洁净度达 Class 100 级，避免生产过程中气体污染，提纯设备采用自动化控制系统，操作精度达 ±0.01%，实现全年 365 天连续稳定生产，气体纯度波动范围≤0.05%，为下游制造行业提供可靠的纯度保障。

上海弥正氢能燃料电池全产业链超高纯气体解决方案，覆盖燃料电池电堆、系统及整车制造全流程，以 “高纯度 + 低有害杂质” 保障燃料电池的性能与寿命。方案重心气体包括燃料电池车动力源 —— 超高纯氢气（纯度 99.999%），以及用于电堆生产的超高纯氮气、氩气。其中，超高纯氢气中一氧化碳、硫化物等有害杂质含量≤0.1ppb，可有效避免燃料电池催化剂中毒，延长电堆寿命；在电堆的膜电极制备与双极板焊接环节，超高纯惰性气体作为保护气，确保产品质量稳定。提供从车载储氢瓶用气体到生产工艺用气体的一站式供应，并配备氢气纯度在线监测与纯化设备，为加氢站提供纯度保障。某头部燃料电池企业应用该方案后，其电堆的峰值功率密度提升 15%，循环寿命突破 10000 小时；某加氢站采用其氢气纯化设备后，输出氢气纯度稳定在 99.999% 以上，完全符合国家 GB/T 37244-2018 标准。超高纯氯气用于水处理消毒，高效杀灭细菌与微生物。

上海弥正依托专业的气体配比技术，为半导体、光伏、医疗等行业提供定制化混合气调配服务，精细满足不同工艺的个性化需求。混合气配比涵盖二元、三元及多元组合，可根据客户要求精细调控各组分浓度，浓度范围从 1ppm 至 50%，配比精度达 ±1%，其中关键组分浓度控制精度可达 ±0.1ppm。采用先进的静态混合与动态配比相结合的技术，确保混合气各组分均匀分布，无分层、无沉淀现象，稳定性达 99.9%，有效期长达 12 个月。支持多种气体组合定制：半导体行业的蚀刻混合气（如三氟化氮 + 氩气）、光伏行业的掺杂混合气（如磷烷 + 氮气）、医疗行业的麻醉混合气（如氧气 + 笑气）等，所有混合气均根据应用场景选择适配的包装方式与输送系统。配备专业的混合气配方研发团队，可根据客户工艺升级需求快速调整配方，提供小批量试产与批量供应服务。某精密制造企业应用定制化混合气后，生产效率提升 20%，工艺合格率提高 15%，产品一致性明显改善，成为客户工艺优化的重心支撑。超高纯氢气纯度达 99.9999%，是光伏电池镀膜工艺的重心还原气体。浙江环丙烷超高纯气体检测分析

超高纯氮气与氢气混合气（比例可调），用作退火工艺保护气。上海六氟化硫超高纯气体半导体制造

上海弥正超高纯三氟化氮（5N 级纯度），是半导体等离子体刻蚀工艺的关键清洗气体，以 “高纯度 + 低污染” 助力芯片制程精细化。采用低温吸附与精馏提纯工艺，将杂质含量控制在 1ppb 以内，其中金属杂质与颗粒物杂质均≤0.1ppb，能准确匹配 7nm 及以下先进制程的刻蚀需求。其强氧化性可高效去除晶圆表面的硅化物、金属氧化物等残留沉积物，且反应产物易挥发，无需额外复杂清洗步骤，有效提升刻蚀工艺效率。配备特用环保处理系统，气体使用后可通过回收装置实现 67% 的再利用率，降低环境排放与使用成本，符合亚洲芯片代工厂的生态合规要求。某半导体代工厂应用后，晶圆刻蚀残留率从 0.8% 降至 0.05%，刻蚀工艺效率提升 15%，单晶圆制造成本降低 3%，同时满足 SEMI 国际半导体产业协会的环保与纯度标准，成为先进制程刻蚀工艺的推荐清洗气体。上海六氟化硫超高纯气体半导体制造

上海弥正气体有限公司是一家有着雄厚实力背景、信誉可靠、励精图治、展望未来、有梦想有目标，有组织有体系的公司，坚持于带领员工在未来的道路上大放光明，携手共画蓝图，在上海市等地区的电工电气行业中积累了大批忠诚的客户粉丝源，也收获了良好的用户口碑，为公司的发展奠定的良好的行业基础，也希望未来公司能成为*****，努力为行业领域的发展奉献出自己的一份力量，我们相信精益求精的工作态度和不断的完善创新理念以及自强不息，斗志昂扬的的企业精神将**上海弥正气体供应和您一起携手步入辉煌，共创佳绩，一直以来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，员工精诚努力，协同奋取，以品质、服务来赢得市场，我们一直在路上！