盐城集中供气特气管道安装

半导体及太阳能薄膜工艺会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气，这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，但却是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料。生产中若发生气体泄漏，将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。为确保安全，此类高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道。该管道施工时，对作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高。本篇就超高纯特气双层管道的施工提出几点建议供同行参考。管道连接过程中按图纸要求设伸缩节，设计无要求时，按照规范要求设置，管端伸入伸缩节应预留伸缩间隙。盐城集中供气特气管道安装

特种气体管道安装要求说明：1）不锈钢，合金钢螺栓和螺母；2）管道设计温度高于50°C或低于0°C;3）室外安装;4）大气腐蚀性环境中或输送腐蚀性介质的管道。合金钢管道不应焊接临时支撑物。如有必要，请遵守相关的焊接规定。安装不锈钢管时，请勿用铁工具敲打。对于法兰上使用的非金属垫片，氯离子含量不得超过50ppm；对于连接到机器的管道，固定焊缝应远离机器。当>6000r/min时，位移值应小于0.02mm，速度应小于6000r/min，位移值应小于0.05mm。管道，法兰和机器法兰应保持平行和同轴，允许偏差不得超过设计文件或规定的要求。集中供气特气管道安装工程压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪，不用压力表。

常规供气系统，常规供气系统主要应用于4-6英寸 大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节省投资。特种气体采用普通钢瓶（<50L）供气。特气输送系统采用气瓶柜。配置全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专门使用氮气吹扫起源等等。VMB采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。惰性气体多采用半自动气瓶架，继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空；VMB主管气动阀，氮气吹扫；支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。气体房和抽风系统根据气体性质进行分类。

施工管理和现场施工的注意点：现场的质量管理人员要做好材料的质量检查记录和每天的施工质量检查记录，包括管工弯管的质量，尺寸是否准确，管道是否有划伤，弯头是不是压得太扁;拆除包装的管道，预制好的管道，管口是不是封好;(管道封口应套上管帽，再采用EP管完好的内包装袋割下15-20公分长套在管口折回后用洁净胶带缠好;如果没有管帽，则采用套一层内包装袋用胶带封好，然后外面再套一层，也用胶带封好。)焊工的焊缝是否符合质量要求，每个焊缝都必须仔细检查，并作好焊接作业者和焊接数量记录。在管道安装完成后，进行压力测试，以确保管道的密封性和耐压性。

特种气体管道安装施工方案，特种气体管道安装施工方案需要考虑以下几个方面：1. 压力测试：在管道安装完成后，进行压力测试，以确保管道的密封性和耐压性。2. 吹扫和清洗：对管道进行吹扫和清洗，以去除残留的杂质和污染物，确保管道的干净和卫生。3. 安全措施：在施工过程中，采取必要的安全措施，如佩戴防护用品、设置警示标志等，确保施工人员的安全和健康。4. 质量控制：对施工过程进行质量控制，确保管道的安装质量符合相关标准和要求。在施工过程中，采取必要的安全措施，如佩戴防护用品、设置警示标志等，确保施工人员的安全和健康。浙江大楼特气管道安装流程

管道水平15°横放固定倾斜摆放姿势进行切割及端面处理，并顺介质下的流方向冲放高纯氮气。盐城集中供气特气管道安装

特种气体管道的施工，特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。然后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。其现场基本的施工程序为：施工图纸会审﹣→施工组织编写﹣→预制间的搭设﹣→施工机具的准备﹣→施工人员的培训﹣→预制图纸的编写﹣→管道的预制﹣→管道的现场安装﹣→系统检测﹣→系统验收。主要的施工机具，特种气体管道的主要施工机具有:全自动轨道焊机(D100、MIOO等)管道切割机（GF锯）、管子割刀、平口机、弯管器、倒角器、管口毛刺修理刮刀、有的需要配置电源稳压器、防止施工现场电流波动对焊接质量造成影响、台虎钳、配电箱、拖线盘、台钻、电钻、冲击钻、切割机、电焊机、手工氩弧焊机、其他辅助工具。盐城集中供气特气管道安装