光学平台很普遍使用的振动响应传递函数为柔量。在恒定(静态)力的情况下,柔量可以定义为线性或角度错位与所施加外力的比值。在动态变化力(振动)的情况下,柔量则可以定义为受激振幅(角度或线性错位)与振动力振幅的比值。平台的任意挠度都可以通过安装在平台表面的部件相对位置变化表现出来。因此,根据定义,柔量值越小,光学平台就越接近设计的首要目标:将挠... 【查看详情】
探针台工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动,导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件,所以具有传动效率高、摩擦力矩小,使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3℃,湿度≤70%,无有害气体的环境中,滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油,但不可过多,值得指出的是,这种结构的工作台... 【查看详情】
近年来,半导体作为信息产业的基石和兵家必争之地成为本轮贸易战的焦点。2019年,中美摩擦、日韩半导体材料争端对全球半导体产业竞争格局也带来了较大的影响。在自主可控发展策略指导下、在资本与相关配套政策扶植下,中国大陆正在也必将成为全球半导体产业扩张宝地,未来几年半导体产能扩充仍将有较大需求。2019年国内半导体设备投资约为923.51亿元,... 【查看详情】
光学平台从功能上分为固定式和可调式;被动或主动式。光学平台普遍应用于光学、电子、精密机械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和无损检测等领域,以及其他机械行业的精密试验仪器、设备振动隔离的关键装置中。主要构成:标准光学平台基本组件包括:1、顶板;2、底板;3、侧面精加工贴脸;4、侧板;5、蜂窝芯;6、密封杯等。钢的构造:优良的平台和面包... 【查看详情】
振动恢复时间是某一点上开始振动到恢复到初始状态所需要的很短时间。若要缩短光学平台的振动恢复时间,通常有两个办法:增大弹簧的弹性系数k。对于阻尼隔振平台,可以换用材质较硬的阻尼材料;对于充气平台,可以适度增加空气压力;控制光学平台台面的质量。在不影响刚度的前提下,台面质量越轻,振动恢复时间越短,使用效果就越好。勤确的光学平台,采用优良铁磁不... 【查看详情】
取样长度若取0.25mm时,精密及超精密加工表面的表面粗糙度Ra>0.02~0.1μm;当取样长度取0.8mm时,普通精加工表面Ra>0.1~2μm。根据上述说明,取样长度为0.8mm,表面粗糙度为0.5~0.8μm时,表面加工精度属于一般水平。勤确的光学平台,表面粗糙度实测指标均符合GB1031中推荐标准。另外,表面粗糙度通常是评定(小... 【查看详情】
晶圆测试是在半导体器件制造过程中执行的一个步骤。在此步骤中,在将晶圆送至芯片准备之前执行,晶圆上存在的所有单个集成电路都通过对其应用特殊测试模式来测试功能缺陷。晶圆测试由称为晶圆探针器的测试设备执行。晶圆测试过程可以通过多种方式进行引用:晶圆终端测试(WFT)、电子芯片分类(EDS)和电路探针(CP)可能是很常见的。晶圆探针器是用于测试集... 【查看详情】