广西永磁变频罗茨真空泵

正确的启停操作能有效避免设备损坏，保证系统安全。1.启动前准备：1）检查冷却水：打开冷却水进水阀，检查水路是否畅通。2）检查润滑油：检查齿轮箱、轴承箱的油位，应保持在视油窗直径的3/4高度以上。外伸轴处的油杯需注满润滑油。推荐使用100号真空泵油。3）介质预处理：若吸入气体含粉尘、颗粒，须安装过滤器；若含腐蚀性成分，须进行中和处理；若含水蒸汽，前级泵应具备气镇功能，或在管路中安装冷凝器。2.启动程序：1）启动前级真空泵。待系统压力被前级泵抽至罗茨泵允许的启动压力以下时（ZJ系列须严格遵循此点，ZJP系列虽可在大气压启动，但经济性差，也建议待压力降低后启动），打开罗茨泵的进气阀门。2）启动罗茨真空泵。泵运转时应平稳，无异常冲击声，轴封处不得有漏油现象。密切监视电流、温度和声音，如有异常立即停机检查。3.停机程序：停机顺序至关重要，必须严格遵守：关闭罗茨真空泵的进气阀门。先停止罗茨真空泵。再停止前级真空泵（严禁顺序颠倒）。停止前级泵的同时，立即向前级泵进气口充入大气，防止返油。关闭冷却水进水阀。若长期停用或在寒冷季节，必须将冷却水套内的剩水全部排净，以防冻裂泵体。罗茨泵转子对称，运转平稳噪声低，结构紧凑，多为卧式利于排杂物。干式罗茨真空泵功率

罗茨泵压缩比较低，对氢气等轻质气体抽气效果差，需配合其他真空泵使用以提升对特殊气体的抽除能力。广西永磁变频罗茨真空泵

在PVD真空镀膜机和LCD面板制造设备中，罗茨真空泵主要承担“粗抽”与“增压”功能。在镀膜工艺开始前，需要将巨大的腔体从大气压快速抽至中真空（10 Pa左右），以便后级的高真空分子泵能够启动。罗茨泵凭借其大排量的特点，能大幅缩短这一“粗抽”时间，提升设备的节拍效率。在镀膜过程中，针对某些特殊靶材（如铬靶）产生的粉尘，罗茨泵的前端需配置粉尘捕集器，防止导电粉尘进入泵腔导致转子短路或卡死。此外，为了适应24小时不间断生产，该场景下的罗茨泵通常配备风冷散热器，无需外接冷却水，简化了厂房的基础设施要求。广西永磁变频罗茨真空泵

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