重庆罗茨真空泵真空系统

在半导体封装和锂离子电池极片干燥的洁净车间内，罗茨真空泵的应用关键在于“无油化”。传统油润滑旋片泵容易产生油蒸气返流，污染晶圆或电池极片，导致产品良率下降。因此，该领域普遍采用干式罗茨真空泵（通常与干式螺杆泵组成机组）。干式罗茨泵采用非接触式转子设计，工作腔内无任何润滑油，彻底杜绝了碳氢化合物的污染风险。在锂电池注液后的静置工序中，罗茨泵需在含有电解液挥发气（如DMC、EMC）的环境下运行，这就要求泵体材料具备优异的耐溶剂腐蚀性，且需配置专门的氮气吹扫系统，防止有机溶剂气体在泵腔内凝结造成转子卡死。罗茨泵在较宽压力范围抽速大，设旁通溢流阀，可在大气压下启动。重庆罗茨真空泵真空系统

罗茨真空泵是一种容积式干式真空泵，其**是一对由同步齿轮驱动、进行高速等速反向旋转的“8”字形转子。转子与转子、转子与泵壳之间保持精密间隙（通常0.1-0.3mm），互不接触，从而实现无油抽气。按功能可分为：普通型（ZJ），需依赖前级泵建立预备真空方能启动；带旁通阀型（ZJP），内置溢流阀，当进出口压差超过设定值（如3000-6000Pa）时自动开启，实现过载保护，允许泵在较高入口压力下启动，缩短抽气时间。还有直排大气型，通过多级串联或气冷/水冷设计，能将气体直接排入大气，但通常需配冷却器和消音器。

罗茨真空泵结构紧凑，节省工业设备安装空间。重庆罗茨真空泵真空系统

罗茨真空泵是一种典型的双转子容积式真空获得设备，其关键部件为一对8字形或三叶形的同步转子。转子在泵腔内作反向等速旋转，通过转子与泵壳之间极小的间隙（通常为0.1mm至0.4mm）实现气体的吸入、压缩与排出。值得注意的是，罗茨泵属于“无内压缩”型泵，即气体在泵腔内并不被压缩，而是被直接推送到排气侧。因此，它不能单独使用，必须串联在前级泵（如螺杆泵、旋片泵）之后。其极限压力取决于前级泵的背压能力。泵体的密封完全依靠精密加工的间隙配合，无需润滑油参与工作腔密封，这使得它在抽气过程中具有极高的洁净度，不会对被抽容器造成油蒸气污染，非常适合半导体和电子行业的工艺需求。重庆罗茨真空泵真空系统

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