上海弥正超高纯六氟化钨(6N 级纯度),是半导体先进制程中钨金属层沉积的重心前驱体,以 “高纯度 + 低金属杂质” 助力芯片性能升级。采用化学合成与多级精馏提纯工艺,将杂质总量控制在 1ppm 以下,其中铜、铁、铝等金属杂质含量均≤0.1ppb,完全满足 14nm 及以下逻辑芯片、3D NAND 闪存制造的工艺要求。在化学气相沉积(CVD)工艺中,它能精细地在晶圆表面沉积出均匀、致密的钨金属层,用于芯片的栅极、互连线及接触孔填充,其纯度直接决定了钨层的导电性与可靠性,进而影响芯片的运行速度与寿命。配备耐腐蚀的特用包装与输送系统,采用内壁经特殊钝化处理的镍合金气瓶,防止气体与容器发生反应导致污染,输送管路采用无死腔设计,确保气体纯净度。某头部晶圆制造企业应用后,3D NAND 闪存的钨层沉积均匀性提升至 99.5%,芯片数据存储密度提高 15%,良率提升 2.2%,有力支撑了企业在先进存储领域的技术竞争力。超高纯六氟化硫纯度达 99.999%,用作高压电气设备绝缘气体。溴化氢超高纯气体香精香料

上海弥正防爆型超高纯气体供应方案,针对化工、油气等易燃易爆危险环境,以 “本质安全 + 全流程防护” 确保气体使用安全,适配高危场景的生产需求。方案涵盖防爆型气瓶、防爆输送管路、防爆阀门及在线监测系统,所有设备均通过国家防爆电气产品质量监督检验中心认证,防爆等级达 Ex d IIB T4 Ga,可在性气体环境中安全运行。提供的超高纯气体(如氧气、氢气、乙炔等)均采用特制防爆气瓶包装,瓶体配备压力过高自动泄放装置与防静电接地端子,防止静电积聚引发危险。在油气开采领域,防爆型超高纯氮气用于油气井的氮气驱油与井控作业;在化工领域,防爆型超高纯氧气用于氧化反应工艺。配备专业的安全评估与现场服务团队,为客户提供防爆系统设计、安装调试及安全操作培训,定期进行安全巡检。某油田企业应用该方案后,氮气驱油作业的安全事故发生率降为零,原油采收率提升 8%;某化工企业使用后,氧化反应工艺的安全性明显增强,通过了生产标准化一级企业评审。超高纯气体芯片制造超高纯一氧化二氮(杂质≤1ppm)用作半导体掺杂工艺气体。

上海弥正超高纯乙硼烷(5N 级纯度),专为 FinFET、GAA(全环绕栅极)等先进晶体管结构的超浅结掺杂工艺设计,以 “超高纯度 + 准确控制” 突破芯片制程瓶颈。采用低温合成与精密吸附提纯技术,将杂质含量控制在极低水平,其中磷、砷等杂质含量≤5ppt,水分含量≤10ppb,满足 5nm 及以下先进制程对超浅结掺杂的严苛要求。在超浅结掺杂中,它能提供高浓度的硼离子,实现对半导体材料的准确、浅度掺杂,形成高性能的 P 型半导体层,其纯度与稳定性直接影响结深控制精度与器件的阈值电压,对提升晶体管开关性能至关重要。提供定制化的稀释与输送方案,可根据客户工艺需求,将乙硼烷准确稀释至 1-100ppm 的标准混合气,采用不锈钢管道输送,配备在线浓度监测与自动报警系统,确保掺杂过程准确可控。某专注于先进制程的芯片设计与制造企业应用后,GAA 晶体管的阈值电压波动范围缩小至 ±0.02V,开关电流提升 20%,成功实现 5nm 制程芯片的稳定量产。
上海弥正针对碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等第三代半导体制造,打造专属超高纯气体解决方案,以 “适配宽禁带特性 + 准确工艺控制” 助力功率器件与射频器件量产。方案涵盖超高纯氨气、硅烷、氢气、氩气等重心气体,其中用于 GaN 外延生长的超高纯氨气纯度达 7N 级,金属杂质含量≤0.01ppb;用于 SiC 刻蚀的超高纯氟化物气体纯度达 6N 级,确保材料刻蚀的准确度与表面质量。第三代半导体材料具有耐高温、耐高压、高频的特性,对气体纯度与杂质控制要求远高于传统硅基半导体,该方案通过准确控制氧、碳、金属等杂质含量,有效减少外延层缺陷,提升器件的击穿电压与可靠性。提供外延生长、离子注入、刻蚀、退火等全工艺环节的气体组合,并配备工艺适配团队,协助客户优化气体流量、压力等工艺参数。某专注于 SiC 功率器件的企业应用该方案后,外延片的缺陷密度从 10³cm⁻² 降至 10²cm⁻² 以下,器件的击穿电压提升 20%,成功实现车规级 SiC MOSFET 的稳定量产。超高纯氨气用于化学气相沉积,制备高质量半导体薄膜。

上海弥正超高纯硅烷(5N 级纯度),是半导体化学气相沉积(CVD)与光伏薄膜电池制造的**原料,以 “高纯度 + 高稳定性” 助力薄膜制备。采用络合反应与吸附提纯工艺,将杂质含量控制在 1ppb 以内,其中金属杂质与颗粒物杂质均≤0.1ppb,避免影响薄膜沉积质量。在半导体制造中,用于制备多晶硅、二氧化硅等薄膜,薄膜均匀性与致密度优异;在光伏产业中,用于薄膜太阳能电池的硅基薄膜沉积,提升电池转换效率。采用特用耐腐蚀气瓶包装,配备防爆阀门与压力监测装置,储存与运输过程中严格控制温度与压力,避免气体分解。某半导体企业应用后,薄膜沉积均匀性提升 4%,芯片电性能稳定性改善;某光伏企业使用后,薄膜电池转换效率提升 0.6%,薄膜附着力增强,完全满足半导体与光伏产业的先进制程要求。超高纯氢气用于燃料电池,纯度≥99.999% 确保电池高效稳定运行。浙江氖气超高纯气体生物医药
超高纯六氟化钨纯度≥99.999%,是半导体金属化工艺的钨源气体。溴化氢超高纯气体香精香料
上海弥正针对跨境电商与外贸企业,提供符合国际标准的超高纯气体出口服务,覆盖全球主要制造市场,实现合规与稳定的全球供应。所有出口气体均通过 RoHS、REACH 等国际认证,纯度与杂质控制指标符合 SEMI 国际半导体产业协会标准与 ISTA 国际运输标准,确保顺利通过各国海关检验。采用国际通用的高压气瓶包装,瓶身标识符合危险品运输要求,配备多语言安全说明书与质量检测报告;运输过程中采用专业危险品运输公司,确保运输安全与气体品质稳定。提供出口报关、物流跟踪等一站式服务,协助客户解决跨境运输中的各类问题,供应周期可准确控制在 15-30 天。某跨境半导体材料企业应用后,产品顺利进入欧美市场,海外客户满意度达 98%,气体在长途运输后纯度衰减率≤0.1%,完全满足全球制造企业的供应要求。溴化氢超高纯气体香精香料
上海弥正气体有限公司是一家有着先进的发展理念,先进的管理经验,在发展过程中不断完善自己,要求自己,不断创新,时刻准备着迎接更多挑战的活力公司,在上海市等地区的电工电气中汇聚了大量的人脉以及**,在业界也收获了很多良好的评价,这些都源自于自身的努力和大家共同进步的结果,这些评价对我们而言是比较好的前进动力,也促使我们在以后的道路上保持奋发图强、一往无前的进取创新精神,努力把公司发展战略推向一个新高度,在全体员工共同努力之下,全力拼搏将共同上海弥正气体供应和您一起携手走向更好的未来,创造更有价值的产品,我们将以更好的状态,更认真的态度,更饱满的精力去创造,去拼搏,去努力,让我们一起更好更快的成长!