山东激光去层

掩模版激光都有哪些种类？

普通版：一般使用苏打玻璃或者石英，常见2寸到10寸，线宽一般在1um以上，主要用户接触式曝光机，转移图形与版图尺寸为1:1，实现同比例的图形转移。

Stepper版：一般使用石英版，常见为5寸和6寸版，线宽一般在500nm以上，主要用于Stepper曝光机台，转移图形与版图尺寸实际比例一般是4:1或者5:1，实现将版图图形缩小4~5倍之后投射于目的片上。

纳米压印版：一般用石英版，刻蚀其表面的金属形成沟槽和透光不透光的组合，尺寸一般需要5寸及以上，采用电子束直写的技术实现表面nm图形的转移，一般线宽在200~800nm左右，借助掩模版对光刻胶的压力、同时辅助紫外曝光，实现纳米级图形的转移。

金属掩模版：一把采用不锈钢，在不锈钢表面通过激光加工的方式，实现表面镂空的图形设计，线宽一般要20um，能够用于电子束蒸发、磁控溅射中，用于电极图形的转移。 超快激光微加工的技术应用；山东激光去层

日本HOYACANDEOOPTRONICS的激光系列-世界认同等级修正用之激光HSL-4000系列HSL-5000系列无论在设计，制造上HOYA采用比较先进的光学技术HOYA光学技术的结晶彻底追求加工稳定度的较好品质小型YAG激光系统HSL-4000II系列/HSL-5000II系列以HOYA特有的高度光学技术活用于设计、制造上，创造出比较好可多段多变功率输出且高稳定性的激光装置。能同时实现微细加工与高输出能量的大面积加工之激光系统从比较小0.5μm到比较大300μm，对半导体及FPD金属薄膜的微细加工到ColorFilter的大面积加工都可以对应。另外，比较大频率可到50Hz，也可用在各种应用层面上。保养及维修的特性灯泡容易替换HSL-4000激光产品介绍激光应用之激光成型；

为什么没有一种激光器能做全部或几种工艺？

每一种工艺类型都要求不同的激光波长、能量分布、以及外光路设计。激光聚焦点能量密度那么大，怎么能控制不烧坏，以及热效应？激光是高度可控的。塑封层的汽化临界温度，离邦定线的熔化温度差距很大，使用CLC公司第四代APEX激光控制板卡，容易控制适合的激光能量密度范围，既保证塑封层汽化，又不损伤邦定线。ECO-BLUE光化学工艺过程，起主导作用并非高速扫描的激光，而是光化学溶剂。激光剖面的热效应控制，主要是超快激光器高频脉冲，使光子能量在时间维度上聚集，超高峰值功率瞬间汽化剖面线，使得热效应区微小至可忽略。

激光开封的目的：开封后，我们能清晰看到芯片表面状态，观察芯片划片道是否有崩边、裂纹，观察芯片表面是否存在异常，观察芯片logo信息，测量芯片尺寸和键合线线径，观察键合线材质，观察钝化层的完整性等芯片内部信息。

芯片开封前用X射线透（tou）视（shi）仪观察晶圆在塑封中的位置并识别键合线类型，在激光开封机上对应芯片晶圆位置，选择合适开封区域（大于晶圆位置即可，开封后要保证有一个凹槽，防止下一步腐蚀液外溢，损伤引脚），选择合适的扫描速度和功率，激光开封机减薄至键合丝出现，待化学开封。 使用超快激光脉冲的微加工技术；

常见、有代表性的激光应用之激光光源：如，用半导体激光合成白光光源。

常见、有代表性的激光应用之激光通信：激光大气通信的发送设备主要由激光器（光源）、光调制器、光学发射天线（透镜）等组成；接收设备主要由光学接收天线、光检测器等组成。

常见、有代表性的激光应用之激光笔：是把可见激光设计成便携、易握的笔型发射器。常见有红光(650-660nm, 635nm)、绿光(515-520nm, 532nm)、蓝光(445-450nm)和蓝紫光(405nm)等，功率常以毫瓦为单位。会报、教学、导赏人员会使用它投映出光点或光线指向物体，不可对人，尤其需注意人眼防护。 激光掩膜版的功能类似于传统照相机的底片。HSL-4000激光种类

半导体激光器失效机理；山东激光去层

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