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掩模版激光都有哪些种类？

普通版：一般使用苏打玻璃或者石英，常见2寸到10寸，线宽一般在1um以上，主要用户接触式曝光机，转移图形与版图尺寸为1:1，实现同比例的图形转移。

Stepper版：一般使用石英版，常见为5寸和6寸版，线宽一般在500nm以上，主要用于Stepper曝光机台，转移图形与版图尺寸实际比例一般是4:1或者5:1，实现将版图图形缩小4~5倍之后投射于目的片上。

纳米压印版：一般用石英版，刻蚀其表面的金属形成沟槽和透光不透光的组合，尺寸一般需要5寸及以上，采用电子束直写的技术实现表面nm图形的转移，一般线宽在200~800nm左右，借助掩模版对光刻胶的压力、同时辅助紫外曝光，实现纳米级图形的转移。

金属掩模版：一把采用不锈钢，在不锈钢表面通过激光加工的方式，实现表面镂空的图形设计，线宽一般要20um，能够用于电子束蒸发、磁控溅射中，用于电极图形的转移。 超快激光脉冲与材料的相互作用在材料加工和微加工中有潜在的应用。micro led激光供应商家

为什么没有一种激光器能做全部或几种工艺？

每一种工艺类型都要求不同的激光波长、能量分布、以及外光路设计。激光聚焦点能量密度那么大，怎么能控制不烧坏，以及热效应？激光是高度可控的。塑封层的汽化临界温度，离邦定线的熔化温度差距很大，使用CLC公司第四代APEX激光控制板卡，容易控制适合的激光能量密度范围，既保证塑封层汽化，又不损伤邦定线。ECO-BLUE光化学工艺过程，起主导作用并非高速扫描的激光，而是光化学溶剂。激光剖面的热效应控制，主要是超快激光器高频脉冲，使光子能量在时间维度上聚集，超高峰值功率瞬间汽化剖面线，使得热效应区微小至可忽略。 HSL-5000激光分类超快激光微加工的技术应用；

光刻掩膜版质量的优劣直接影响光刻的质量。在芯片制造过程中需要经过十几甚至几十次的光刻，每次光刻都需要一块光刻掩膜版，每块光刻掩膜版的质量都会影响光刻的质量。光刻过程中，通常通过一系列光学系统，将掩膜版上的图形按照 4：1 的比例投影在晶圆上的光刻胶涂层上。由于在制作过程中存在一定的设备或工艺局限，光掩膜上的图形并不可能与设计图像完全一致，即在后续的硅片制造过程中，掩膜板上的制造缺陷和误差也会伴随着光刻工艺被引入到芯片制造中。因此光掩膜的品质将直接影响到芯片的良率和稳定性。

微纳加工-激光掩模版的作用：

光刻掩模版，别称“掩模版”、“光刻板”、“光罩”、“遮光罩”，一般使用玻璃或者石英表面覆盖带有图案的金属图形，实现对光线的遮挡或透过功能，是微电子光刻工艺中的一个工具或者板材。我们利用光罩可以实现微电子工艺中的图形传递。光刻掩模版的加工技术主要有两种：其一为激光直写技术；其二为电子束直写部分，两种技术区别在于光源不同，实现的精度有所区别。掩模版是光刻工艺不可缺少的部件。掩模上承载有设计图形，光线透过它，把设计图形透射在光刻胶上，掩膜版的功能类似于传统照相机的“底片”。我们可以通过把图形做在掩模版上通过下一步曝光工艺（下期讲解）转移到我们的基底上，基底上有对应的相关图形了，但是通过曝光基底上还没有刻上图形，只是光刻胶有了相关图形。光刻胶的是一种对光敏感的材料，通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化。有可能会变容易溶解也可能变得不容易，这时候再通过显影液，不稳定的部分将会被处理掉，剩下的就是我们想要的图形。 激光应用之激光冷却；

激光微加工特点介绍：

(1)范围广：几乎可以对任何材料进行雕刻切割。(2)安全可靠：采用非接触式加工，不会对材料产生机械挤压或机械应力．(3)精确细致；加工精度可达0．01mm．(4)效果一致：保证同一批次的加工效果一致．(5)高速快捷：可立即根据电脑输出的图样进行高速雕刻和切割，且激光切割的速度比线切割的速度要快很多．(6)成本低廉：不受加工数量的限制，对于小批量加工服务，激光加工更加便宜。(7)切割缝隙小：激光切割的割缝一般在0.02mm-0.05mm．(8)切割面光滑：激光切割的切割面无毛刺。(9)热变形小；激光加工的激光割缝细、速度快、能量集中，因此传到被切割材料上的热量小，引起材料的变形也非常小。

激光微加工形成方式：一是使用红外激光：将材料表面的物质加热并使其汽化(蒸发)，以除去材料，这种方式通常被称为热加工．主要采用YAG激光(波长为1.06μm)。二是使用紫外激光：高能量的紫外光子直接破坏许多非金属材料表面的分子键，使分子脱离物体，这种方式不会产生高的热量，故被称为冷加工，主要采用紫外激光(波长为355nm)． 激光微加工形成方式；HSL-4000激光种类

光刻掩模版的加工技术；micro led激光供应商家

国统局数据显示，2019年上半年仪器仪表大行业规模以上企业4927个，营收规模4002亿元，营收同比增长7.57%；收入总额为361亿元，同比增长2.87%，比主营收入低4.70个百分点；仪器仪表在工业发展中具有重要作用，这也使得仪器仪表得到快速发展。各行各业对仪器仪表的市场需求也在不断提升，销售企业正在发展中寻求技术创新和质量提升。仪器仪表的质量、性能关系到工业安全，必须重视。中国的新型工业化进程，信息化和工业化融合的进一步加深，带动各个工业领域对于拉曼光谱仪，电动位移台，激光器，光电探测器等产品的需求。在国民经济运行中，上海波铭科学仪器有限公司是一家实力的光学仪器生产厂家,同时也是爱特蒙特正式代理商,主要提供光学仪器如光栅光谱仪,荧光光谱仪,膜厚测量仪,探测器响应分析仪等科研光学仪器.并且提供光学机械,电子测量解决方案,制造工艺精良,质量可靠,性能稳定,报价合理,售后无忧,值得信赖.等设备是提高劳动生产率的倍增器，对国民经济有着巨大的作用和影响力。美国商业部地区技术和标准研究院（NIST）提出的报告称：美国90年代仪器仪表工业产值只占工业总产值的4%，但它对国民经济（GNP）的影响面却达到66%。micro led激光供应商家

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