芯片激光开封

激光机常见故障以及解决方法：

激光机是激光雕刻机、激光切割机和激光打标机的总称。激光机利用其高温的工作原理作用于被加工材料表面，同时根据输入到机器内部的图形，绘制出客户要求的图案、文字等。其中激光雕刻机又可以细分为，非金属激光雕刻机，如木制工艺品雕刻机、石材影雕刻机等。金属激光雕刻机，如，二氧化碳激光雕刻机。

一、激光头不发光1、按操作面板测试键观查电流表状态：①没电流：检查激光电源电源是否接通、高压线是否松动或脱落，信号线是否松动；②有电流：检查镜片是否破碎、光路是否严重偏移；2、检查水循环系统是否正常：①不通水：检查水泵是否损坏或没通电；②通水：检查进水口、出水口是否接反或水管破裂； 激光雷达用激光器作为辐射源；芯片激光开封

日本HOYACANDEOOPTRONICS的激光系列-世界认同等级修正用之激光HSL-4000系列HSL-5000系列无论在设计，制造上HOYA采用比较先进的光学技术HOYA光学技术的结晶彻底追求加工稳定度的较好品质小型YAG激光系统HSL-4000II系列/HSL-5000II系列以HOYA特有的高度光学技术活用于设计、制造上，创造出比较好可多段多变功率输出且高稳定性的激光装置。能同时实现微细加工与高输出能量的大面积加工之激光系统从比较小0.5μm到比较大300μm，对半导体及FPD金属薄膜的微细加工到ColorFilter的大面积加工都可以对应。另外，比较大频率可到50Hz，也可用在各种应用层面上。保养及维修的特性灯泡容易替换FA100S激光系统激光掩膜版的功能类似于传统照相机的底片。

激光工艺：

经过近20年的发展，目前比较成熟的工艺分为六种：Decap EMC 激光开封环氧树脂塑模封装Gel Removal 激光去除硅胶封装Cross section 激光剖面芯片De-lidding 激光开盖金属陶瓷封装Eco-Blue 激光光化学法无损晶圆开封De-layering 激光逐层剥离微加工。

激光开封是利用激光聚焦能量，汽化EMC(epoxy mould compound)塑封层的工艺。可替代传统的微型CNC机械磨除方法，结合GEL-BLUE工艺，可代替开封的后续滴酸工艺。

激光去除硅胶封装，是利用远红外激光器，汽化silicagel，结合GEL-BLUE溶液，完美除胶直达晶圆层。目前应用的IC主要类型有LED、IGBT、以及高压功率芯片。

激光光掩膜主要分两个组成部分，即基板和不透光材料，不同掩模版的不透光材料有所不同。基板通常是高纯度，低反射率，低热膨胀系数的石英玻璃。不同种类光掩膜使用的不透光材料不同。光掩膜分为铬版（苏打玻璃、石英玻璃、硼硅玻璃）、干版、菲林、凸版（APR）。铬版的不透光层是通过溅射方法镀在玻璃下方厚约 0.1um 的铬层。铬的硬度比玻璃略小，不易受损但有可能被玻璃所伤害。应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶，硬度小且易吸附灰尘，不过干版还有包膜和超微颗粒干版，后者可应用于芯片制造。微纳加工-激光掩模版的作用；

常见、有代表性的激光应用之激光热处理：也称激光淬火，是一种表面改性工艺，用于增强部件的耐磨性或延长其寿命，从家用工具到汽车制造部件及重工业和运输领域的工装，均在适用范围内，尤其汽车工业中应用普遍，如缸套、曲轴、活塞环、换向器、齿轮等零部件的热处理，同时在航空航天、机床行业和其它机械行业也应用范围广。激光淬火常用于钢和铸铁材料。激光器通过受控的局部加热使金属部件上的目标区域发生固态相变，同时保证基材的冶金性能。吸收取决于材料类型、碳含量、微结构、表面条件、尺寸和几何形状，通常限于在表面层，淬火深度0.2–2.0 mm。可采用光束整形器件控制加热区域。超快激光脉冲微加工的明显特征是透明材料的内部微加工。micro led激光失效分析

激光钻孔加工技术方法；芯片激光开封

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