HOYA激光常见问题

RY20激光修复机：

广泛应用：超快激光针对半导体的精细微加工

★芯片去层及图形线路切割lasercut

★Mask掩膜版的开路断线熔接laserwelding（LCVD）

★针对Oled、Mini/Microled面板修复LaserRepair

系统设备参数：

1、电气参数

●电源：220V/AV，大10A

●激光器电源：48V/DC，比较大8A。

2、机械参数

●Z轴行程：20mm

●Z轴小移动精度：1um

●整机重量：150Kg。

3、激光光学参数

●物镜：5X、10X，20XNUV

●激光输出波长：355nmMAX6mj、532nmMAX8mj、1064nmMAX20mj

●光斑调节范围：0.01*0.01~4*4mm(物镜前)

●**小切割线宽：355nm1um;532nm1.2um;1064nm1.5um 在40nm左右的时候，转移图案的过程中，需要使用到40层左右的掩膜版。HOYA激光常见问题

微纳加工-激光掩模版的作用：

光刻掩模版，别称“掩模版”、“光刻板”、“光罩”、“遮光罩”，一般使用玻璃或者石英表面覆盖带有图案的金属图形，实现对光线的遮挡或透过功能，是微电子光刻工艺中的一个工具或者板材。我们利用光罩可以实现微电子工艺中的图形传递。光刻掩模版的加工技术主要有两种：其一为激光直写技术；其二为电子束直写部分，两种技术区别在于光源不同，实现的精度有所区别。掩模版是光刻工艺不可缺少的部件。掩模上承载有设计图形，光线透过它，把设计图形透射在光刻胶上，掩膜版的功能类似于传统照相机的“底片”。我们可以通过把图形做在掩模版上通过下一步曝光工艺（下期讲解）转移到我们的基底上，基底上有对应的相关图形了，但是通过曝光基底上还没有刻上图形，只是光刻胶有了相关图形。光刻胶的是一种对光敏感的材料，通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化。有可能会变容易溶解也可能变得不容易，这时候再通过显影液，不稳定的部分将会被处理掉，剩下的就是我们想要的图形。 南昌HSL-4000激光激光光掩膜主要分基板和不透光材料两个部分；

光刻掩膜版层数增加，自然是成本增加，同时也带动了光刻胶、光刻、刻蚀等附带工艺材料的成本增加。因为人们实现光刻工艺提升的条件是光刻掩膜版层数的增加，就像使用一层光掩膜版曝光转移图案不够清晰那样，多曝光几次图案就更加清晰。据悉，在40nm左右的时候，转移图案的过程中，需要使用到40层左右的掩膜版，到了14nm的时候，就会使用到60层的掩膜版，而到了7nm，至少需要80层的掩膜版，每层加一层，就会带来成本的提升，可想而知，80层的光掩膜版，成本让人难以接受，成本难以控制，就难以大规模量产芯片。

超快激光可用于微加工多种材料：金属、聚合物、半导体、透明材料等。需选择合适的激光参数进行修改。

激光微加工系统用于力学、工程与技术科学基础学科领域的工艺试验仪器。

激光微加工系统的技术指标：测量范围径向3.0m，球测试精度±0.046mm、锥测试精度±0.052mm，激光扫描距离89～184mm、扫描精度0.05mm。

激光微加工系统的主要功能：该设备不仅具有精度测量、形位误差分析功能，而且具有激光扫描，生成被扫描件的三维点云造型功能。

激光掩膜版的功能类似于传统照相机的底片。

激光开封的目的：开封后，我们能清晰看到芯片表面状态，观察芯片划片道是否有崩边、裂纹，观察芯片表面是否存在异常，观察芯片logo信息，测量芯片尺寸和键合线线径，观察键合线材质，观察钝化层的完整性等芯片内部信息。

芯片开封前用X射线透（tou）视（shi）仪观察晶圆在塑封中的位置并识别键合线类型，在激光开封机上对应芯片晶圆位置，选择合适开封区域（大于晶圆位置即可，开封后要保证有一个凹槽，防止下一步腐蚀液外溢，损伤引脚），选择合适的扫描速度和功率，激光开封机减薄至键合丝出现，待化学开封。 大功率半导体激光器；南昌HSL-4000激光

激光开封机主要应用有哪些呢？HOYA激光常见问题

激光开封机是用来将元器件开封,即使用激光开封机去除元器件塑封料,近两年年铜线产品变多,客户对开封要求越来越高,导致激光开封机需求应运而生其安全方便,可靠性高等特点深受客户喜欢。

那么激光开封机使用范围有哪些呢？

1. 满足除金属陶瓷封装外，各种封装形式的IC器件。

2. 设备由控制系统、光学系统、升降工作台及冷却系统等组成

3. 开封为自动开封，工程人员设定好开封范围及光扫次数，系统自动执行开封动作。

4. 开封完毕器件上会留有少许胶体，需要用少量酸漂洗。

5. 可开封范围100mm*100mm。

6. 工控主机，液晶显示幕17″以上；

7. 单次开封是深度≤0.4mm；重复精度±0.003mm微能量精细镭射控制器。

HOYA激光常见问题

上海波铭科学仪器有限公司正式组建于2013-06-03，将通过提供以拉曼光谱仪，电动位移台，激光器，光电探测器等服务于于一体的组合服务。业务涵盖了拉曼光谱仪，电动位移台，激光器，光电探测器等诸多领域，尤其拉曼光谱仪，电动位移台，激光器，光电探测器中具有强劲优势，完成了一大批具特色和时代特征的仪器仪表项目；同时在设计原创、科技创新、标准规范等方面推动行业发展。随着我们的业务不断扩展，从拉曼光谱仪，电动位移台，激光器，光电探测器等到众多其他领域，已经逐步成长为一个独特，且具有活力与创新的企业。波铭科仪始终保持在仪器仪表领域优先的前提下，不断优化业务结构。在拉曼光谱仪，电动位移台，激光器，光电探测器等领域承揽了一大批高精尖项目，积极为更多仪器仪表企业提供服务。